加工事例No.7半導体製造装置

バルブのボディ

削り終えたステンレスのバルブのボディ

ガスを止めるバルブのボディです。ねじの穴と、弁が座る穴を1回の段取りで仕上げました。

課題

弁が座る穴とねじの穴の位置がずれると、ガスが漏れます。ステンレスは削ると熱で伸びるため、100個そろえるのが難しい部品でした。

対応

立形のマシニングセンタで、ねじの穴と弁の座る穴を同じ段取りで削りました。最初の5個と、その後は10個に1個を三次元測定機で測っています。