YURA SEIKO

由良精工株式会社

加工事例No.3半導体製造装置

絶縁スペーサー

袋に入ったPEEKの絶縁スペーサーとピンゲージ

装置の中で電気を通さないための、厚さ5 mmのリング状の部品です。

課題

樹脂は削った時の熱で伸び、測る時の温度でも寸法が変わります。

対応

荒削りの後に一晩置いて、材料の中の力を抜いてから仕上げました。寸法は 20 ℃ の測定室で、1時間置いてから測っています。