YURA SEIKO

由良精工株式会社

加工事例No.6半導体製造装置

装置用マニホールドブロック

A5052で削ったマニホールドブロックとデジタルノギス

ガスの通り道になる穴が6面に38か所ある部品です。5軸で段取りを2回にまとめました。

課題

6面すべてにポートがあり、立形のマシニングセンタでは段取りが6回になります。段取りを替えるたびに基準がずれるため、穴の位置を ±0.01 mm に収めるのが難しい部品でした。

対応

5軸マシニングセンタ(DMU 50)で、1回目に5面、2回目に残りの1面を削る段取りにしました。穴の位置は全数を三次元測定機で測り、検査成績書を付けて納めています。